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AALBORG有機廢氣氣體品質用戶計
新產品性能:性價變高、積極地響應的較快、靠得住高朝,更易融合、環路保護的、備占有量篩選器 常見運用:CVD、PVD、刻蝕、等亞鐵離子灌入、濺射、ITO、窗玻璃鍍一層薄薄的膜、表面層操作等鍍一層薄薄的膜工藝設備。

設計特點:
-剛性金屬結構
-流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm 
-*大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
-NIST系統標定可追蹤的證明
-可傾斜的LCD讀表
-0-5Vdc或4-20mA信號輸出
-電路保護
-可用作便攜式的設備
-0到100比例顯示
-可配備流量計算機
精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力。可選±1%滿量程(標定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
重復性:±0.5%滿量(liang)程


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