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APTECH調壓閥產品SL 5800
TIED DIAPHRAGM SPRINGLESS REGULATOR
Ultraclean的技術以服務管理和適用為精神支柱
熱DI除污和烘烤
10μin。外壁處里
（7和5μin。可以）
低內壁體積和
外層積
高空氣流速
操作源程序低
交付阻力
負壓至300 psig
（21巴）出入口
APTECH調壓閥SL 5800系統
運行指標
源壓真空系統至300 psig（21 bar）
輸料負荷SL 5802 1至30 psig（0.07至2 bar）
SL 5806 1至60 psig（0.07至4 bar）
SL 5810 2至100 psig（0.14至7 bar）
證明格式氣壓2,000 psig（138 bar）
暴破學習壓力4,000 psig（276 bar）
別參數表
入口處/出口值無線聯接器1 / 4,3 / 8或1/2寸大面填料密封或管焊
閥蓋服務器端口1/8屏幕尺寸NPT
總流量彈性系數（Cv）0.4
內部容量1.2 in3（19.7 cm3）
崗位氣溫-40°至+ 160°F（-40°至+ 71°C）
面上晶亮度10μin（0.25μm）Ra max標準;